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[专利] 玻璃基片装载装置及立式镀膜装置
出售价格: 面议

专利分类:发明

专利编号:CN201210327591.4

发明人:陈旺寿,肖旭东,张撷秋,刘壮,顾光一,杨春雷,宋秋明

持有人:深圳先进技术研究院,香港中文大学

  • 专利附图
  • 摘要
  • 交易流程
  • 过户材料
  • 具体描述

专利详情

Patent Detail

专利类别:发明 申请号: CN201210327591.4 申请日期:2012-09-06
公开日期:2014-08-06 专利名称: 玻璃基片装载装置及立式镀膜装置 发明人:陈旺寿,肖旭东,张撷秋,刘壮,顾光一,杨春雷,宋秋明
法律状态:授权 申请人:深圳先进技术研究院,香港中文大学 公开号:CN102912310B
主分类号:C23C14/50(20060101) 优先权号: 行业分类:化学;冶金
优先权日: 专利权人:深圳先进技术研究院,香港中文大学

专利附图

Patent Picture

摘  要

Summary

一种玻璃基片装载装置,包括:与地面垂直设置的框架,框架上开设有用于收容玻璃基片的窗口,窗口的尺寸大于玻璃基片的尺寸;相互间隔设置的两个连接件,每一连接件的一端与框架位于所述窗口的顶部可转动相连,另一端与玻璃基片的顶部可转动相连,两个连接件的两个另一端的间距随着玻璃基片受热膨胀而伸长,且随着玻璃基片冷却收缩而缩小;及限位件,设于框架位于窗口的底部,限位件上开设有收容玻璃基片的底部的凹槽。当玻璃基片膨胀时,玻璃基片的横向间距会增大,两个连接件也会随之自然的张开,连接件之间的玻璃基片不会因为挤压而变形。本发明还提供一种应用了玻璃基片装载装置的立式镀膜装置。

交易流程

Transaction Process

过户资料

Transfer Information

具体描述

Specific Description

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