专利详情
Patent Detail
专利类别:发明 | 申请号: CN201210327591.4 | 申请日期:2012-09-06 |
公开日期:2014-08-06 | 专利名称: 玻璃基片装载装置及立式镀膜装置 | 发明人:陈旺寿,肖旭东,张撷秋,刘壮,顾光一,杨春雷,宋秋明 |
法律状态:授权 | 申请人:深圳先进技术研究院,香港中文大学 | 公开号:CN102912310B |
主分类号:C23C14/50(20060101) | 优先权号: | 行业分类:化学;冶金 |
优先权日: | 专利权人:深圳先进技术研究院,香港中文大学 |
专利附图
Patent Picture
摘 要
Summary
一种玻璃基片装载装置,包括:与地面垂直设置的框架,框架上开设有用于收容玻璃基片的窗口,窗口的尺寸大于玻璃基片的尺寸;相互间隔设置的两个连接件,每一连接件的一端与框架位于所述窗口的顶部可转动相连,另一端与玻璃基片的顶部可转动相连,两个连接件的两个另一端的间距随着玻璃基片受热膨胀而伸长,且随着玻璃基片冷却收缩而缩小;及限位件,设于框架位于窗口的底部,限位件上开设有收容玻璃基片的底部的凹槽。当玻璃基片膨胀时,玻璃基片的横向间距会增大,两个连接件也会随之自然的张开,连接件之间的玻璃基片不会因为挤压而变形。本发明还提供一种应用了玻璃基片装载装置的立式镀膜装置。
交易流程
Transaction Process
过户资料
Transfer Information
具体描述
Specific Description