专利详情
Patent Detail
| 专利类别：实用新型 | 申请号： CN201721745217.0 | 申请日期：2017-12-14 |
| 公开日期：2018-08-10 | 专利名称： 一种可控线性蒸发装置 | 发明人：张撷秋,崔骏,刘壮,杨世航,陈旺寿,李霖 |
| 法律状态：授权 | 申请人：深圳先进技术研究院 | 公开号：CN207713807U |
| 主分类号：C23C14/24(20060101) | 优先权号： | 行业分类：化学；冶金 |
| 优先权日： | 专利权人：深圳先进技术研究院 |
专利附图
Patent Picture
摘 要
Summary
本实用新型涉及一种可控线性蒸发装置，该可控线性蒸发源包括坩埚、坩埚加热器、导管、导管加热器，所述坩埚和所述导管构成线性蒸发源，在所述导管和所述坩埚之间设置可控性阀门，来控制所述坩埚内材料气体的压力，进而在较短时间内改变材料气体的瞬间蒸发速率。采用该可控线性蒸发装置进行蒸发镀膜时，可以更准确地控制平均蒸发速率，扩大蒸发速率的调节区间，提高线性蒸发源的瞬间蒸发速率，同时在改变温度工艺时节约原料的消耗。
交易流程
Transaction Process
过户资料
Transfer Information
具体描述
Specific Description