专利详情
Patent Detail
| 专利类别：实用新型 | 申请号： CN201721736330.2 | 申请日期：2017-12-13 |
| 公开日期：2018-11-23 | 专利名称： 一种带防液滴喷溅格栅的热蒸发装置 | 发明人：张撷秋,刘壮,杨世航,钟国华,黄俏俏,崔骏,李霖 |
| 法律状态：授权 | 申请人：深圳先进技术研究院 | 公开号：CN208136329U |
| 主分类号：C23C14/56(20060101) | 优先权号： | 行业分类：化学；冶金 |
| 优先权日： | 专利权人：深圳先进技术研究院 |
专利附图
Patent Picture
摘 要
Summary
一种带防液滴喷溅格栅的热蒸发装置，包括：蒸发材料；坩埚，所述坩埚容纳待加热的所述蒸发材料；喷管，所述喷管与坩埚的顶端端口相通；格栅，所述格栅放置在坩埚内壁，且位于蒸发材料上方，所述格栅具有阻挡喷溅液滴直线运动至喷管的倾斜挡板。所述格栅还包括支撑框架，所述支撑框架的外壁与所述坩埚内壁紧密贴合，且形状相同。在热蒸发镀膜工艺中，格栅可顺利通过蒸气，且阻挡大部分喷溅液滴，有效减少喷溅液滴到达镀膜表面，提高镀膜材料的厚度均匀性和化学组分一致性，提高镀膜工艺的良品率。
交易流程
Transaction Process
过户资料
Transfer Information
具体描述
Specific Description