专利详情
Patent Detail
| 专利类别：发明 | 申请号： CN201710392929.7 | 申请日期：2017-05-27 |
| 公开日期：2019-05-21 | 专利名称： 真空镀膜设备的检测系统 | 发明人：崔骏,刘壮,张撷秋,杨世航,陈旺寿,李霖,钟国华 |
| 法律状态：授权 | 申请人：深圳先进技术研究院 | 公开号：CN107254672B |
| 主分类号：C23C14/52(20060101) | 优先权号： | 行业分类：化学；冶金 |
| 优先权日： | 专利权人：深圳先进技术研究院 |
专利附图
Patent Picture
摘 要
Summary
本发明提供一种真空镀膜设备的检测系统，所述检测系统包括控制装置和检测装置，所述检测装置包括摄像头和驱动结构，所述摄像头与所述驱动结构连接，所述控制装置包括控制单元，所述摄像头用于对所述真空镀膜设备的内部进行拍摄，所述控制单元用于控制所述驱动结构驱动所述摄像头移动。本发明提供的真空镀膜设备的检测系统，所述控制单元可以控制所述驱动结构驱动所述摄像头移动，所述摄像头移动可以对所述真空镀膜设备的内部的各个细节进行拍摄，从而在真空环境中便可以实现对真空镀膜设备的内部进行检测，避免真空镀膜设备的内部暴露在大气环境中。
交易流程
Transaction Process
过户资料
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具体描述
Specific Description