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[专利] 一种带防液滴喷溅隔板的热蒸发装置
出售价格: 面议

专利分类:实用新型

专利编号:CN201721736339.3

发明人:张撷秋,刘壮,杨世航,钟国华,黄俏俏,崔骏,李霖

持有人:深圳先进技术研究院

  • 专利附图
  • 摘要
  • 交易流程
  • 过户材料
  • 具体描述

专利详情

Patent Detail

专利类别:实用新型 申请号: CN201721736339.3 申请日期:2017-12-13
公开日期:2018-09-18 专利名称: 一种带防液滴喷溅隔板的热蒸发装置 发明人:张撷秋,刘壮,杨世航,钟国华,黄俏俏,崔骏,李霖
法律状态:授权 申请人:深圳先进技术研究院 公开号:CN207877846U
主分类号:C23C14/24(20060101) 优先权号: 行业分类:化学;冶金
优先权日: 专利权人:深圳先进技术研究院

专利附图

Patent Picture

摘  要

Summary

一种带防液滴喷溅隔板的热蒸发装置,包括:蒸发材料;坩埚,所述坩埚容纳待加热的所述蒸发材料;喷管,所述喷管与坩埚的顶端端口相通;至少两个隔板,所述隔板为板状结构,且通过去除材料形成允许蒸汽通过的通孔;所述不同隔板沿竖直方向间隔放置在坩埚内壁,且位于蒸发材料上方,所述不同隔板的通孔在水平面的投影不发生重叠。在热蒸发镀膜工艺中,多个具有通孔的隔板可顺利通过蒸气,但由于每个隔板在水平方向的投影不重叠,因而阻挡大部分喷溅液滴,有效减少喷溅液滴到达镀膜表面,提高镀膜材料的厚度均匀性和化学组分一致性,提高镀膜工艺的良品率。

交易流程

Transaction Process

过户资料

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具体描述

Specific Description

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