专利详情
Patent Detail
专利类别:实用新型 | 申请号: CN201721736339.3 | 申请日期:2017-12-13 |
公开日期:2018-09-18 | 专利名称: 一种带防液滴喷溅隔板的热蒸发装置 | 发明人:张撷秋,刘壮,杨世航,钟国华,黄俏俏,崔骏,李霖 |
法律状态:授权 | 申请人:深圳先进技术研究院 | 公开号:CN207877846U |
主分类号:C23C14/24(20060101) | 优先权号: | 行业分类:化学;冶金 |
优先权日: | 专利权人:深圳先进技术研究院 |
专利附图
Patent Picture
摘 要
Summary
一种带防液滴喷溅隔板的热蒸发装置,包括:蒸发材料;坩埚,所述坩埚容纳待加热的所述蒸发材料;喷管,所述喷管与坩埚的顶端端口相通;至少两个隔板,所述隔板为板状结构,且通过去除材料形成允许蒸汽通过的通孔;所述不同隔板沿竖直方向间隔放置在坩埚内壁,且位于蒸发材料上方,所述不同隔板的通孔在水平面的投影不发生重叠。在热蒸发镀膜工艺中,多个具有通孔的隔板可顺利通过蒸气,但由于每个隔板在水平方向的投影不重叠,因而阻挡大部分喷溅液滴,有效减少喷溅液滴到达镀膜表面,提高镀膜材料的厚度均匀性和化学组分一致性,提高镀膜工艺的良品率。
交易流程
Transaction Process
过户资料
Transfer Information
具体描述
Specific Description