专利详情
Patent Detail
专利类别:实用新型 | 申请号: CN201721742785.5 | 申请日期:2017-12-14 |
公开日期:2018-08-14 | 专利名称: 一种具有导热件的热蒸发坩埚组件 | 发明人:刘壮,张撷秋,杨世航 |
法律状态:授权 | 申请人:深圳先进技术研究院 | 公开号:CN207727136U |
主分类号:C23C14/26(20060101) | 优先权号: | 行业分类:化学;冶金 |
优先权日: | 专利权人:深圳先进技术研究院 |
专利附图
Patent Picture
摘 要
Summary
本实用新型公开了一种具有导热件的热蒸发坩埚组件,包括坩埚本体及导热件,坩埚本体设有腔体,导热件嵌于腔体内且与腔体表面接触以进行热量传递,导热件上设有多个在高度方向连通的气体蒸发通道,气体蒸发通道用于导出坩埚本体内产生的蒸发原料气体。本实用新型一种具有导热件的热蒸发坩埚组件,通过热蒸发三维导热件将蒸发原料内部、临近液面处、接近坩埚内壁处连接起来,形成多个小的子蒸发区域。由于三维导热件结构的联通性,使得临近加热源的坩埚壁、底部的热量可以快速传导到坩埚内部和临近液面处,促进在非平衡态下的温度场均匀性,在热蒸发镀膜工艺中起到匀热,导热作用,降低了因温度不均匀导致喷溅的几率。
交易流程
Transaction Process
过户资料
Transfer Information
具体描述
Specific Description