专利详情
Patent Detail
| 专利类别：发明 | 申请号： CN201310303061.0 | 申请日期：2013-07-18 |
| 公开日期：2013-11-20 | 专利名称： 一种铜锌锡硫太阳能电池吸收层薄膜的制备方法 | 发明人：于冰,杨春雷,程冠铭,冯叶,鲍浪,郭延璐,徐苗苗 |
| 法律状态：授权 | 申请人：深圳先进技术研究院 | 公开号：CN103400895A |
| 主分类号：H01L31/18(20060101) | 优先权号： | 行业分类：化学；冶金 |
| 优先权日： | 专利权人：深圳先进技术研究院 |
专利附图
Patent Picture
摘 要
Summary
一种铜锌锡硫太阳能电池吸收层薄膜的制备方法，包括：将铜、锌、锡及硫四种元素沉积于衬底表面，以形成铜锌锡硫前驱体；将铜锌锡硫前驱体置于真空环境中，并通入由保护气体和硫化氢气体组成的混合气体；将上述铜锌锡硫前驱体以6.25℃/min～13.75℃/min的升温速率从室温升温至150℃～300℃，并保温10min～20min；再以5℃/min的升温速率升温至480℃，并保温20min～30min；再以5℃/min的升温速率升温至500℃，并保温15min后自然冷却至室温，在衬底表面得到铜锌锡硫太阳能电池吸收层薄膜。通过上述制备方法，从而形成均匀的，致密的铜锌锡硫太阳能电池吸收层薄膜。
交易流程
Transaction Process
过户资料
Transfer Information
具体描述
Specific Description