专利详情
Patent Detail
| 专利类别：发明 | 申请号： CN201710419898.X | 申请日期：2017-06-06 |
| 公开日期：2019-12-13 | 专利名称： 一种自旋转立式镀膜基架及镀膜设备 | 发明人：崔骏,刘壮,张撷秋,杨世航,陈旺寿,李霖,钟国华 |
| 法律状态：授权 | 申请人：深圳先进技术研究院 | 公开号：CN107130225B |
| 主分类号：C23C14/56(20060101) | 优先权号： | 行业分类：化学；冶金 |
| 优先权日： | 专利权人：深圳先进技术研究院 |
专利附图
Patent Picture
摘 要
Summary
本发明公开了一种自旋转立式镀膜基架，包括基架本体和支架，所述基架本体包括顶部的第一导向部和底部的第二导向部，所述支架用于承载待镀膜的样品，可旋转地设于所述基架本体上。本发明还公开了一种镀膜设备。本发明能够实现了流水线式生产，在保证薄膜质量的前提下，可以对样品多个表面一次性镀膜，镀膜工艺耗费时间短，产业化效率高，适合大规模工业化生产。
交易流程
Transaction Process
过户资料
Transfer Information
具体描述
Specific Description